國機集團IC芯片高效精密微細加工用系列
金剛石磨具成套技術整體達到國際先進水平
金剛石磨具成套技術整體達到國際先進水平
發布時間：2017-03-17
應用于IC芯片的微細磨切加工工具性能要求極其苛刻，我國傳統生產工藝和技術裝備制備的磨具存在自銳性差、加工效率低、加工質量差、使用壽命短等問題。該類產品市場長期被發達國家所壟斷，很大程度制約了我國電子信息領域產品的快速更新與發展。
國機集團所屬鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司聯合國內相關高校、行業骨干企業開展聯合攻關，在國內首創了IC芯片高效精密微細加工用系列金剛石磨具成套制備技術，并實現了產業化，取得了多項創新成果。一是建立了橋接界面調控理論，提出多相復合結合劑協同增效配方設計機理，改善金剛石/結合劑界面結合性能，解決了單一結合劑金剛石磨具耐磨性與自銳性不能兼顧的難題。二是首創了超薄切割砂輪的近凈精密成型技術和端面、內外圓無變形精密后加工處理技術，提高了切割砂輪的形位精度。三是開發了原位同步自蔓延燒結和基于微波原理的交叉噴淋-微波熱解組合技術，提升了IC芯片磨切加工工具和專用配套工裝的結構均勻性和生產效率，保障了加工質量。四是建立了超薄、精密金剛石磨具質量評價體系和方法，解決了傳統測量方法易于引起超薄砂輪工作層變形及損壞等問題，建立了相應的技術標準。
本項目獲得授權發明專利10項，主持或參與制定國家和行業標準8項。經國家磨料磨具質量監督檢驗中心檢測，項目產品各項指標及使用性能均達到或超過國外同類產品先進水平。項目已建成年產值16億元的生產線，近三年取得直接經濟效益25億元，每年可為數百家用戶創造效益160多億元。項目成果打破了發達國家在高效精密金剛石磨具制造技術領域的技術壟斷，結束了我國高、精、尖、專等高檔超硬材料制品依靠進口的歷史。（國機集團供稿）
附圖：IC芯片高效精密微細加工用系列金剛石磨具技術路線圖
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